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15年專注精密自動(dòng)化設(shè)備研發(fā)廠家
產(chǎn)品詳情產(chǎn)品分類
半導(dǎo)體晶圓噴光刻膠一體機(jī)
產(chǎn)品名稱：半導(dǎo)體晶圓噴光刻膠一體機(jī)
產(chǎn)品介紹：
歐力克斯自主設(shè)計(jì)研發(fā)的半導(dǎo)體晶圓噴光刻膠一體機(jī)，具有性價(jià)比高、靈活性強(qiáng)、產(chǎn)能效率高等優(yōu)勢(shì)；采用壓電噴射閥噴射速度快，點(diǎn)膠精度高，最小點(diǎn)徑0.2mm，最小線徑0.3mm，一致性高，非接觸，避免針頭碰撞工件；極小點(diǎn)膠量，適用于更緊湊的空間。歐力克斯半導(dǎo)體精密點(diǎn)膠設(shè)備可以更好的滿足半導(dǎo)體行業(yè)點(diǎn)膠工藝需求。
點(diǎn)膠工藝：
芯片的固定-紅膠、電氣的連接固定-銀漿、固定MEMS器件-硅膠、COB封裝防護(hù)-環(huán)氧膠，芯片錫球保護(hù)（Underfill）-環(huán)氧膠等
技術(shù)特點(diǎn) 晶圓點(diǎn)膠機(jī)，伺服絲桿，龍門結(jié)構(gòu)，雙Y、雙X軸，運(yùn)行穩(wěn)定；搭載自研壓電式噴射閥，大視野視覺相機(jī)，點(diǎn)膠精度高 機(jī)械手搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，采用上銀4軸微小型機(jī)器人進(jìn)行搬運(yùn) 機(jī)械手自動(dòng)把點(diǎn)好膠的晶圓搬運(yùn)到真空烘烤機(jī)中，自動(dòng)關(guān)閉艙門在真空環(huán)境中利用光照烘烤固化
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